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国产5纳米刻蚀机通过台积电验证 国产半导体设备有望提高市场渗透率

        参考观研天下发布《2019年中国半导体制造装备行业分析报告-产业竞争现状与前景评估预测》
        
        近日,由倪图强博士、尹志尧博士与杜志游博士等40多位半导体设备专家创办的中微半导体自主研制的5纳米等离子体刻蚀机经台积电验证,性能优良,将用于全球首条5纳米制程生产线。5纳米相当于头发丝直径的二万分之一,是集成电路制程工艺最小线宽。台积电宣布2019年将进行5纳米制程试产、预计2020年量产。
        
        从全球范围看,半导体主要设备行业门槛极高,处于寡头垄断局面。美国、日本、荷兰是世界半导体装备制造的三大强国,全球知名的半导体设备制造商主要集中在上述国家。根据 SEMI 的统计,2014 年全球半导体设备市场规模为 375 亿美元,前十大半导体设备厂商的销售额为 351 亿美元,市场占有率高达 93.6%,行业处于寡头垄断局面。
        
        全球前十大半导体设备生产商中,有美国企业 4 家,日本企业 5 家,荷兰企业 1 家。2015 年,美国的应用材料公司(AMAT)以 79.4 亿美元的销售额位居全球第一,全球设备市场市占率 21.2%;荷兰阿斯麦(ASML)公司以 75.5 亿美元的销售额位居全球第二,市占率 20.1%;日本的东京电子(TEL)销售额为 55.4 亿美元,位列第三,市占率 14.8%;
        
        2005-2018年全球半导体设备销售额情况
         
        数据来源:IDC
        
        国产化处于起步阶段。2008年以前,我国集成电路设备基本依靠进口2009年,我国集成电路设备市场规模仅为9.69亿美元,进口规模和自制规模分别为9亿美元和0.69亿美元,设备自制比例7%。为改善集成电路设备进口以来情况,国家设立了科技重大专项——极大规模集成电路制造设备及成套工艺科技项目(简称02专项)。2011年以来,我国集成电路进口依赖严重的问题开始逐步改善,15种12英寸主要设备通过大生产验证。2012年首次达到12%,到2015年逐步上升至16%。受惠于02专项和国内其他集成电路发展基金,2010年国内集成电路设备市场规模激增283%,达到37.07亿元。
        
        根据国际半导体产业协会数据,2018年第三季度中国大陆半导体设备销售额首次超越韩国,预计明年将成为全球最大半导体设备市场,包括中微半导体、北方华创在内的国产设备厂商有望提高设备渗透率。
        
        2009-2018年我国集成电路设备市场规模及自制比例
         
        数据来源:国际半导体产业协会
        
        资料来源:国际半导体产业协会,观研天下整理,转载请注明出处(TC)

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